1.外觀(guān)尺寸：4200mm (L)χ1700mm (W)χ1950mm (H)
2.進(jìn)料區：可放置625mmχ505 mm料盤(pán)二十盤(pán)，一盤(pán)Max 35個(gè)治具，一次入料Max可達700個(gè)治具，自動(dòng)送料盤(pán)結構配置一個(gè)KY- 400高真空分子泵或10 FCryo pump及採用Rotary pump + Booster之低真空pump組合，抽氣速率可達10000 L/hr
3.鍍膜製程區：本區域設計共8個(gè)濺射陰極，採用上方四個(gè)、下方四個(gè)，並以左右對稱(chēng)之方式設計，配置一個(gè)10FCryo pump，前後     各配置一個(gè)(共兩個(gè))方形閘閥，使入料及出料可保持真空。
4.出料區：二十盤(pán)料盤(pán)，Max700個(gè)治具，一次出料自動(dòng)收料機構。
5.電控裝置區：採用日本三菱PLC，高信賴(lài)度，易於保養維護。
二：設計概念：

採用最簡(jiǎn)化即是最佳化(Simple Is The Best)設計理念。針對以下問(wèn)題點(diǎn)做全面考量：
• 腔體尺寸
• 機構設計
• 抽氣系統設計
• 靶材更換便利性
• 設備維護保養
• 鍍膜品質(zhì)需求
• 軟體功能設計
• 生產(chǎn)效率
三：系統特色
• 腔體採用模組化設計，易於搬運及組合，機構易調校
• 自動(dòng)送料、收料系統
• 多靶濺射，生產(chǎn)速度快
• 軟硬體高度整合以減少人為操作錯誤的可能性
• 圖形化操作介面，易學(xué)易操作，動(dòng)態(tài)顯示設備運轉現狀
• 控制電路板佔用空間小，設計上易維修與查線(xiàn)
• 附換靶臺車(chē)，省力方便。
四：系統組態(tài)及系統規格
4.1系統組態(tài)：

4.2系統規格及技術(shù)指標：
 1. 控制系統；
 　採用三菱PLC自動(dòng)控制+人機介面
 2.腔體Chamber
　材質(zhì)：SUS304不銹鋼材質(zhì)外加Water Jacket出料區、進(jìn)料區大門(mén)材質(zhì)為鋁合金
 3.電漿源與靶材
　電漿源：磁控濺射源x 8、水冷式〈上方四靶，下方四靶〉靶材尺寸：5”x 22”x 1/2”Target
固定方式：Clamp type 
4.DC電源供應器
　MAX 8 KW水冷式